中图仪器SJ6000激光干涉仪为客户直驱平台dingwei精度的测量和验证提供了良好的解决方案，精度达到纳米级，在稳定的实验条件下满足了客户测量和校准的要求，提高了客户产品的质量和检测效率，取得了不错的市场反响。
测量时，根据直驱平台移动模式设定好SJ6000软件采集设置。测量时实时显示测量误差，完成后即时生成测量报告。报告显示设备的dingwei精度在100nm内，反向差值在40nm内。
SJ6000激光干涉仪采用美国进口高稳频氦氖激光器、激光双纵模热稳频技术、高精度环境补偿模块、几何参量干涉光路设计、高精度激光干涉信号处理系统、高性能计算机控制系统技术，实现各种参数的高精度测量。
